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- 浙江大学博士学位论文浸没式光刻机浸液流动特性及其对物镜影响姓名：陈晖申请学位级别：博士专业：机械电子工程指导教师：傅新20110609浙江大学博士学位论文摘要摘要本课题以浸没式光刻机中的浸液控制系统为
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- 囤密级中国科学院大学 Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆＣｈｉｎｅｓｅ Ａｃａｄｅｍｙ ｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ 作者姓名： ２０１３年０５月中国科学院大学博士学位论文：投影光刻物镜光学元件的离子束精修技术研究Ｂ
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