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投影光刻物镜偏振像差研究.pdf
- 博士学位论文投影光刻物镜偏振像差研究 作者姓名： 指导教师:隋永新 研究员 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 学位类别: 工学博士 学科专业: 光学工程 培养单位: 中国科学院长春光学精密机械与
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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究.pdf
- 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究
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基于DMD的红外双波段共光路投影物镜设计.pdf
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浸没式光刻机浸液流动特性及其对物镜影响.pdf
- ３６５Ｅｘｔｅｒｎａｌ Ｒｅｖｉｅｗｅｒｓ： ——ＣｈｅｎＸｕｅｄｏｎｇ／Ｐｒｏｆｅｓｓｏｒ／Ｈｕａｚｈｏｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ＥｘａｍｉｎｉｎｇＣｏｍｍｉｔｔｅｅ Ｃｈａｉｒｐｅｒｓｏｎ： ．
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基于移相掩模标记的光刻机投影物镜波像差检测方法研究.pdf
- 光刻机是芯片制造的重要装备之一，其核心是一套高精度的投影成像系统，这套系统的波像差是影响光刻机成像质量、光刻分辨率和套刻精度的重要因素，是光刻机最主要的检测指标之一。为达到实际生产过程对投影物镜系统波
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投影光刻物镜光学元件的离子束精修技术研究.pdf
- 囤密级中国科学院大学 Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆＣｈｉｎｅｓｅ Ａｃａｄｅｍｙ ｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ 作者姓名： ２０１３年０５月中国科学院大学博士学位论文：投影光刻物镜光学元件的离子束精修技术研究Ｂ
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长焦距高分辨率航侦相机物镜设计.pdf
- 分类号：蝼３２ ｕＤｃ： ｉ３５：８ 密级： 编号：——长焦距高分辨率航侦相机物镜设计 ＡＥＲＩＡＬ ＣＡ脏ＲＡ ＬＥＮＳ ＤＥＳＩＧＮ ＷＩＴＨ ＬＯＮＧ ＦＯＣＡＬ ＬＥＮＧＴＨ ＡＮＤ ＨＩＧＨ
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平原光电公司光学技术发展现状研究与投影物镜设计.pdf
- 平原光电公司光学技术发展现状研究与投影物镜设计,光学瞄准镜物镜大小,光学显微镜物镜,光学显微镜的物镜,光学瞄准镜物镜,光学与光电技术,河南平原光电有限公司,平原光电,光学鼠标和光电鼠标,平原光电有限公司
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基于移相掩模标记的光刻机投影物镜波像差检测方法研究.pdf
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折衍混合petzval型物镜设计.pdf
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向豆丁求助：有没有物镜?
